Characterization of plasma-enhanced CVD processes - symposium held November 27-28, 1989, Boston, Massachusetts, U.S.A
- Författare
- (Editors: Gerald Lucovsky, Dale E. Ibbotson, Dennis W. Hess.)
- Genre
- Konferenspublikation
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Materials Research Society | cop. 1990 | USA, Pittsburgh, Pa | ix, 250 sidor. ill. |